什么是光刻机,光刻机重要吗?
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什么是光刻机,光刻机重要吗?
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光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。
Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);
在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。
通俗易懂来讲光刻机就是个“投影仪”,把我们想要的影子投影到幕布上。
芯片那么精细,是怎么生产出来的呢?用刀刻?用水冲?都不行,因为芯片太精细了,动辄几十nm的线条,日常没有什么材料能做成这么精细的刻刀。所以我们就想了一个办法,用光线来刻,这也就是光刻机。
怎么个用光刻法呢?
我们都用过胶卷相机吧,胶片平日里是黑色的,不能见光的,一旦见光就会变白,我们也找了一种一见光就“易溶解”的特殊胶片。当我们想要在芯片上刻一个圆圈的时候,我们就在芯片上涂上这种特殊胶片,拿一个圆圈光照上去,再经过一些列后续处理,我们在这个芯片上就做出了一个圆圈图形了对吧。
光刻机就是用这种胶片来刻出图形的。剩下的问题是,我们怎么把一种我们想要的特定图形打到胶片上呢?
我们见过老式投影仪吧,原理跟皮影戏是一样的,做一个“剪纸”,拿灯光一照,这个剪纸就映在幕布上了。我们也想办法在光刻机里做了这样的“剪纸”,拿光源一照,这个剪纸就映在胶片上了。
以上就是光刻机的通俗理解。就是这么简单
2020-06-05 14:54:48